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六維壓電納米位移臺 ║P685S

產品參數
運動軸 X,Y,Z,θX,θY,θZ
行程 500μm10mrad
結構類型 機構放大式并聯結構

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六維壓電納米位移臺 ║P685S是采用壓電陶瓷驅動的六維并聯式壓電陶瓷定位平臺,六維壓電納米位移臺內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點,壓電陶瓷平臺內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,確保了壓電平臺具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。壓電陶瓷定位平臺內部采用并聯式結構設計 , 結構緊湊,所有促動器作用在同一個移動臺面上,可同時實現多軸運動且每軸具有相同的動態性。對比嵌套式或疊堆式的串聯結構,并聯結構有著更輕的質量,更低的慣量和更高的動態性。中空式設計,且中央通孔較大,可更好的適用于顯微及掃描系統中。


典型應用:掃描顯微鏡(SPM) ? 干涉 ? 計量 ? 掩模/晶圓定位 ? 度量衡學 ? 生物技術 ? 顯微光學 ? 激光技術 ? 微操作等。

六維壓電納米臺運動軸示意圖


內置高性能壓電陶瓷促動器具有超長使用壽命
壓電陶瓷促動器由環氧脂質涂層包裹,具有優異的防潮特性,避免漏電流增大造成故障,可實現無故障運行1000億個循環。


零間隙無摩擦柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損,無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力,且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容,可在很廣的溫度范圍內工作。


并聯運動實現高動態多軸操作
在并聯多軸運動定位系統中,所有促動器作用于同一個運動平臺。所有軸具有最小的質量慣性和相同的動態性設計,可實現快速、高動態和高精密的運動。

● 掃描顯微鏡
● 超分辨率顯微鏡
● 生物技術
● 掩模/晶圓定位
● 樣本定位
● 干涉測量
● 計量

◆ 并聯運動實現更快的響應時間和更高的多軸精度;

◆ 無摩擦柔性鉸鏈并聯導向可實現極高的運動精度;

◆ 高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命;

◆ 內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋,開/閉環可供選擇。

專業知識與技術

  • 研生首創,國際技術領先:獨特的超高精度全并聯式柔性鉸鏈導向系統

    突出優勢:研生首創,國際技術領先:獨特的超高精度全并聯式柔性鉸鏈導向系統。研生科技設計開發的并聯式柔性鉸鏈導向結構技術已成功轉化為系列化產品,并廣泛應用于各相關應用領域……

    10-10
  • 柔性鉸鏈導向放大結構

    在納米定位技術中,柔性鉸鏈導向系統可實現高達幾毫米的定位任務。柔性鉸鏈的運動基于固體的彈性變形。這避免了靜態、滾動或滑動摩擦,其優點是高剛性、高承載和耐磨性。柔性鉸鏈無需維護,可使用非磁性材料制造,不需要潤滑劑或消耗品,因此可在真空環境下工作。壓電陶瓷促動器的行程也可通過集成杠桿機構增加。促動器被機械地集成在柔性鉸鏈結構內,行程可擴展至2 mm。由于簡單的杠桿結構會使系統失去了相當數量的指導精度和剛度,所以需要設計更復雜的柔性鉸鏈導向結構。柔性鉸鏈可實現超高路徑精度的運動。為了補償高速或橫向偏移,研生公司開發出了多種特殊的復合式多連桿柔性導向結構。這些導向系統應用于各類納米級精密定位系統中,可實現在亞納米或微弧度范圍內的運動精度。

    03-06
  • 壓電陶瓷促動器(二)

    壓電陶瓷堆疊型促動器的位移通常可達幾十微米,最大可達幾百微米。柔性鉸鏈導向結構可通過設計,使其作用原理如同一根機械杠桿,對壓電陶瓷促動器的位移進行機械放大,必要時將促動器引導至一個不同的方向上。杠桿放大系統的設計十分嚴苛:一方面,其應防止側向偏移,另一方面,其應始終沿直線進行導向,杠桿通常是通過一個樞軸點進行引導。此外,行程的增大將導致剛度減小。柔性鉸鏈導向可通過設計,使其進一步集成無需額外導向。柔性鉸鏈結構是用作導向和杠桿系統,在具有更高集成度的壓電陶瓷系統中作用也是如此。

    02-28
  • 并聯運動壓電陶瓷定位系統

    在多軸并聯系統中,所有促動器直接作用于單一運動平臺。這意味著可以為所有軸設計相同的動態特性,從而大幅降低移動質量。優勢:并聯運動系統可比串行堆疊或嵌套系統設計得更緊湊。單個軸的誤差和質量不會累積。由于最小化質量慣性,并聯運動系統可提供多達6個水平的自由度和所有軸的高動態。多軸并聯運動允許使用直接平行計量,測量所有有關固定參考的移動平臺的自由度。例如,由于力的作用而意外的串擾進入不同軸,因此可檢測并實時糾正。這種積極的實時校準即使在動態運行時,也可實現納米范圍內的運動精度。

    02-20
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